蒸发材料及靶材
蒸发材料及靶材主要包括贵金属、贵金属合金、高纯有色金属及其合金等。主要应用微电子、显示器、太阳能、(磁、光)记录介质、光学镀膜、装饰等行业。
材料 | 符号/分子式 | 纯度 | 备注 |
铝 | Al | 5N,5N5 | 依客户定制尺寸 |
铜 | Cu | 5N,6N | 依客户定制尺寸 |
镍 | Ni | 4N,5N | 依客户定制尺寸 |
钛 | Ti | 4N5 | 依客户定制尺寸 |
钒 | V | 3N5,4N | 依客户定制尺寸 |
银 | Ag | 4N | 依客户定制尺寸 |
钯 | Pd | 3N5,4N | 依客户定制尺寸 |
金 | Au | 4N,5N | 依客户定制尺寸 |
注:表中只列了部分常用材料,可以根据客户要求提供合金蒸发料
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