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蒸发材料及靶材

蒸发材料及靶材主要包括贵金属、贵金属合金、高纯有色金属及其合金等。主要应用微电子、显示器、太阳能、(磁、光)记录介质、光学镀膜、装饰等行业


材料

符号/分子式

纯度

备注

Al

5N5N5

依客户定制尺寸

Cu

5N6N

依客户定制尺寸

Ni

4N5N

依客户定制尺寸

Ti

4N5

依客户定制尺寸

V

3N54N

依客户定制尺寸

Ag

4N

依客户定制尺寸

Pd

3N54N

依客户定制尺寸

Au

4N,5N

依客户定制尺寸

注:表中只列了部分常用材料,可以根据客户要求提供合金蒸发料



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